Описание:

Компания Rigaku выпустила спектрометр ZSX Primus, который обеспечивает возможность проведения экспресс анализа и количественное определение основных и второстепенных атомных элементов (от бериллия (Be) до урана (U)) в самом разнообразном виде образцов при минимальных требованиях к пробоподготовке.

Производительный, достоверный и гибкий элементный анализ

Этот спектрометр является представителем семейства аппаратуры Rigaku ZSX и продолжает традиции компании в обеспечении достоверного анализа материалов в бескомпромиссной манере, непревзойденной японской надежностью, гибкостью и простотой использования для удовлетворения любых задач современной лаборатории материаловедения.

Исследование топологии образцов (mapping) и многоточечный анализ легких элементов (Low-Z performance)

Обеспечивая превосходную производительность и гибкость анализа самых сложных образцов, Rigaku ZSX Primus укомплектован 30 микронной рентгеновской трубкой, которая является самой малоразмерной трубкой с нижним расположением окна для промышленного и полупромышленного применения, в особенности при исследовании малых концентраций легких элементов (Low-Z performance). Совместно с передовой системой определения топологии образцов (mapping) для идентификации гомогенности материала и малых концентраций примесей, ZSX Primus легко позволяет детально исследовать объекты, которые иной раз просто невозможно изучить другими стандартными аналитическими методиками. Режим многоточечного анализа (запатентованная технология Rigaku) существенно помогает минимизировать вклад ошибки выборки при аттестации неоднородных материалов.

Программное обеспечение SQX fundamental parameters и EZ-scan

Пакет EZ-scan позволяет пользователям произвести идентификацию образцов с неизвестным составом и структурой без всякой предварительной подготовки. Эта особенность существенно экономит время и требует лишь несколько кликов компьютерной мышкой, а также ввода названия образца с клавиатуры. Совместно с пакетом SQX fundamental parameters, обеспечивается настолько достоверный и быстрый рентгеновский флюоресцентный анализ, насколько это возможно при текущих условиях. SQX способен автоматически исправлять влияние матрицы структуры образца, в том числе перекрытие и «замывание» спектральных пиков. SQX так же может легко корректировать данные на эффекты вторичного возбуждения за счет фотоэлектронов в легких и ультра-легких элементах, в особо сложных случаях предлагая изменить тип атмосферы, размер образца и т.п. Повышенная точность результатов анализа достигается благодаря использованию современных баз данных идентификации структуры и высокоточной системе регистрации спектров.

 

Особенности спектрометра

• Возможность анализа элементов от Be до U
• Небольшая площадь установки сэкономит место в лаборатории
• Режим микроанализа образцов (вплоть до 500 μm)
• Нижнее расположение рентгеновской трубки для анализа жидкостей и несвязанных порошков
• 30μ рентгеновская трубка для высокопроизводительного анализа легких элементов
• Режим исследования топологии образца (mapping) для идентификации распределения элемента в образце (рельеф/распределение)
• Гелиевый затвор – рентгеновская оптика всегда в вакууме.

 

Особенности программного обеспечения (в стандартной поставке)

• Качественный анализ:
  • Автоматическая идентификация спектрального пика
  • Сглаживание, вычитание фона
• Количественный анализ:
  • Матричная коррекция : Lachance-Traill, DeJohngh, JIS и т.д.
  • Регрессия линейная, второй и третьей степени
  • Meтод фундаментального параметра
• EZ scan (качественный анализ)
• Шаблоны отчетов
• Автоматический выбор области исследования (определения размера маски)
• Разложение пика на составляющие (стандартный профиль и с помощью подбора функции)
• Аппроксимация фона (на основе функции многих переменных)
• Фиксирование точности анализа как параметра
• Развернутая помощь пользователю
• Возможность отправки e-mail
• Метод стандартных образцов
• Программа моделирования эксперимента (оценка глубины распределения примеси и т.д.)

 

Особенности программного обеспечения (опционально)

• Пакет SQX:
  • EZ scan + SQX
  • Измерения при фиксированных углах
  • Анализ тонкопленочных образцов
  • Теоретическая оценка и коррекция перекрытия пиков
  • База данных по смещению пиков и коррекция смещения
  • Фотоэлектронный метод FP
  • Поправка на He-атмосферу
    • Поправки для пленочных образцов :
    • Поправка на примесь
    • База данных по совпадениям
• Модуль SQX scatter на основе метода FP
• Финальная оценка образца
• Количественная оценка на основе метода FP
• Количественная теоретическая поправка с использованием FP метода
• Поправка для сплавов
• Поправка на зарядку образцов (полупроводники и диэлектрики)
• Основные функции программы:
  • Анализ по времени
  • Режим энергосбережения
  • Автоматическое отключение
• Модуль управления и контроля образцами
• Точечный режим/режим топологии
• Функция удаленного управления прибором (VCP)

 

Технология

Серия приборов ZSX Primus использует рентгеновскую оптику с волновой дисперсией (WDX). Типичные отличия от энергодисперсионной технологии (EDX) показаны на рисунке ниже.

 

Существенным достоинством приборов серии ZSX также является новая 30 микронная рентгеновская трубка, позволяющая легко выполнять высокочувствительный анализ сверхлегких элементов.

 

Примененная технология Quick Atmosphere Convert (запатентована Rigaku) позволяет быстро менять образец, без напуска воздушной атмосферы в спектрометр, что существенно экономит время измерений. Кроме того, вакуумный тракт укомплектован двойной высокопроизводительной системой откачки, если прибор открывался с напуском воздуха внутрь спектрометра.

 

В дополнение к имеющимся у ZSX Primus возможностям, в ZSX Primus II существенно расширен набор кристаллов-анализаторов (данные приведены в таблице), что увеличивает аналитические возможности прибора.

 

Улучшена и технология топологической аттестации поверхности образца – теперь пользователь с легкостью может анализировать области на поверхности размером 100 микрон (см. рисунок ниже).

 

Хорошо зарекомендовавшие себя технологии в ZSX Primus так же применены и в Primus II : ACWC, EasyCleaning, Flow Bar и т.п. За более детальным разъяснением, пожалуйста, обратитесь к описанию ZSX Primus. Наконец, прибор построен по технологии энергосбережения, которая автоматически снижает мощность рентгеновской трубки, скорость потока водяного охлаждения и газа P-10, когда прибор находится в холостом цикле.

 

Технические характеристики

Основное

Диапазон элементов	4Be - 92U
Оптика	На основе волновой дисперсии, последовательная, с нижним расположением рентгеновской трубки

 

Рентгеновский источник

Рентгеновская трубка	С нижним расположением окна, Rh-анод, мощность 3kW или 4 kW при 60kV
Высоковольтная часть	Высокочастотный инвертер, стабильность не хуже чем ±0.005%
Охлаждение	Встроенный теплообменник водяного типа

 

Спектрометр

Чейнджер образцов	48 позиционный (в стандартной поставке), с возможностью расширения
Устройство ввода образцов	На основе Air lock
Максимальный размер образцов	51 mm (диаметр) на 30 mm (высота)
Анализируемая область	35 mm (диаметр)
Скорость вращения образца	30 rpm
Первичный рентгеновский фильтр	Al, Ti, Cu, Zr и Be (опционально, для защиты окна)
Коллиматор	Автоматический, 6 - позиционный: 35, 30, 20, 10, 1 и 0.5 mm
Выходная щель	Автоматическая, 3 –позиционная, с режимами разрешения standard, high и course (опционально)
Входная щель	Для детекторов типа SC и F-PC
Гониометр	θ – 2θ с независимым механизмом привода
Диапазон углов	Для SC-детектора: 5-118°, для F-PC-детектора: 13-148
Max скорость сканирования	1400°/min (2θ)
Угловая точность	±0.0005°
Непрерывное сканирование	0.1 - 240°/min
Чейнджер кисталла	Автоматический, 10 позиционный
Вакуумная система	2 высокопроизводительных насоса (адсорбер типа PowderTrap поставляется опционально
Система продувки Не	Опционально, с отражателем
Система стабилизации температуры	36.5°C ± 0.1°C

 

Детекторы

Детектор тяжелых элементов	Сцинтилляционный (SC)
Детектор легких элементов	Газопроточный пропорциональный счетчик (F-PC)
Аттенюатор	Автоматический, режим 1/10